中國科學(xué)院微電子研究所 KW-4A型臺(tái)式勻膠機(jī)/旋涂儀/涂膠機(jī)

產(chǎn)品簡介 

我研究室生產(chǎn)的KW-4A、KW-4T型勻膠機(jī)適應(yīng)于半導(dǎo)體硅片，載玻片，晶片，基片，ITO導(dǎo)電玻璃等工藝，制版的表面涂覆。該產(chǎn)品具有轉(zhuǎn)速穩(wěn)定和啟動(dòng)迅速等優(yōu)點(diǎn)，并能保證半導(dǎo)體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。通常配真空泵一起使用。目前的型號(hào)有KW-4A型/KW-5型/KW-4T型。 

技術(shù)參數(shù)及要求：
基片尺寸： Φ 5 Φ 100mm 圓片，*大 100 × 100mm 2 方片
轉(zhuǎn)速： 25 0 9 000RPM
旋涂設(shè)置：任意階段之間均可任意升降調(diào)節(jié)
轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性： 1%
旋涂均勻性： 1
旋涂工藝階段： 6 段
旋涂時(shí)間：單步工藝 0 180 0s 可根據(jù) 客戶需求 調(diào)節(jié)
整機(jī)尺寸（ 長寬高 210 mm × 2 8 0 mm × 248 mm
裸機(jī)尺寸 長寬高 210 mm × 2 8 0 mm × 1 55mm
電機(jī)功率： 40W
適應(yīng)材料：硅片、玻璃、石英、金屬、 GaAs 、 GaN 、 InP 等各種材料
配套 無油真空泵參數(shù)：
型號(hào)： K W 550A/KW 550T
抽速： 1 .5 升 秒
功率： 3 20W
噪音： 50db
*低真空度： 700mmHg
重量： 7.3 Kg
尺寸 長寬高 2 40mm40mm×160mm×230mm 抽氣速率： ：>60L/min